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花藍還能用氟塑料制作嗎?

更新時間:2025-6-5   點擊:199次

氟塑料花籃在半導(dǎo)體行業(yè)的典型應(yīng)用

1. 材料選擇依據(jù)
耐腐蝕性:PFA/PTFE可抵抗氫氟酸、強堿等半導(dǎo)體清洗液腐蝕,避免污染晶圓。
高純度:金屬離子含量<0.1ppb,滿足半導(dǎo)體制造對超凈載具的要求。
低摩擦系數(shù):表面光滑(摩擦系數(shù)0.02~0.1),減少晶圓劃傷風(fēng)險。
2. 主流氟塑料類型
PFA花籃:可熔融加工,適合復(fù)雜結(jié)構(gòu)注塑,長期耐溫260℃。
PTFE花籃:通過燒結(jié)成型,耐溫更高(300℃),但加工難度較大。
PVDF花籃:機械強度優(yōu)異,適用于高載荷場景。
3. 實際應(yīng)用場景
晶圓清洗:承載硅片浸入酸槽(如氫氟酸),PFA花籃可耐受500小時以上腐蝕。
高溫工藝:CVD設(shè)備中PTFE花籃可穩(wěn)定工作于300℃環(huán)境。
運輸存儲:PVDF花籃用于太陽能電池片轉(zhuǎn)運,抗紫外線老化。
注:聚丙烯(PP)花籃因成本低也有應(yīng)用,但耐化學(xué)性遠遜于氟塑料
氟塑料

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